關(guān)于顆粒污染物的表面清潔度檢測(cè)光源

為什么需要表面清潔管理？

我們相信，在管理 10,000 級(jí)（ISO 7 級(jí)）潔凈室（這是我們的領(lǐng)域）時(shí)，表面清潔度管理極其重要。造成這種情況的主要原因有兩個(gè)。

一是潔凈室的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)主要關(guān)注懸浮顆粒物，與落塵沉積物的數(shù)量沒有明顯的相關(guān)性，這是萬(wàn)級(jí)環(huán)境中的通病。二是空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)潔凈室的潔凈度主要是懸浮顆粒物，與累積的落塵數(shù)量沒有明顯的相關(guān)性，這是萬(wàn)級(jí)環(huán)境中常見的問(wèn)題，直接涉及的是表面污染。

關(guān)于 JACA No.42

2006年1月，日本清潔空氣協(xié)會(huì)公布了“如何表達(dá)和測(cè)量潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中顆粒污染物表面清潔度的指南"。 其“目的"指出：

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的空氣潔凈度是通過(guò)懸浮顆粒污染物的數(shù)量濃度來(lái)定義的，但污染物引起問(wèn)題的區(qū)域是產(chǎn)品和其他物體的表面...（略）...ISO/TC209/WG9嘗試標(biāo)準(zhǔn)化顆粒污染方面的表面清潔度。因此，迫切需要對(duì)顆粒污染物的表面清潔度進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。

表面清潔度等級(jí)

潔凈室和潔凈區(qū)域表面顆粒的潔凈度等級(jí)。它以表面特定清潔度（SPC）等級(jí)N表示，表示目標(biāo)粒徑的允許上限顆粒濃度（1 m2 表面中存在的顆粒數(shù)量）。

*目標(biāo)粒徑原則上為0.05μm至500μm。

表面清潔度等級(jí)數(shù)

潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中的表面清潔度以 SPC N級(jí)表示。N由目標(biāo)粒徑D下顆粒的允許上限濃度C SPC,D的對(duì)數(shù)確定，如下式所示。

C SPC,D = (10 N × (1.0/D)

此處，C SPC,D為測(cè)定粒徑以上的表面的粒子濃度(每1m 2表面的粒子數(shù))的容許上限濃度。有效數(shù)字為 2 位。

N是定義在 1 到 8 范圍內(nèi)的 SPC 類別號(hào)。中級(jí)課程最多可以使用一位小數(shù)。

D為測(cè)量的粒徑（μm）；

1.0為常數(shù)（μm）

； 注：實(shí)際測(cè)量面積通常約為100 cm 2（0.01 m 2 ）。

*摘自日本空氣凈化協(xié)會(huì)JACA第42-2006號(hào)“潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中顆粒污染物的表面清潔度表達(dá)和測(cè)量指南"

ISO表面清潔度等級(jí)

ISO14644-9 SCP類別表