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什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置?

發(fā)布時間:2022-11-29 點擊量:742

什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置?

它是一種使用高性能和極小的 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))壓力傳感器來確定壓力變化(壓差)是否存在泄漏的裝置。

(MEMS:將機(jī)械元件、傳感器、電子電路等集成在單一基板上的裝置,利用MEMS壓力傳感器的特性來測量壓力變化。)

CW設(shè)備概覽

CW的特點是通過測量被檢產(chǎn)品外部密封空間(測量空間)的壓力變化來判斷產(chǎn)品有無泄漏,如下圖所示。

待測的測量空間體積應(yīng)盡可能小,以增加對壓力變化的敏感度。

為了靈活處理不同形狀的產(chǎn)品,測量空間采用硅橡膠并覆蓋。

設(shè)備主要部件

MEMS壓力傳感器板

   *產(chǎn)品被硅橡膠覆蓋和密封的測量部分

   *真空泵

   *真空罐(穩(wěn)壓罐)

   *壓力調(diào)節(jié)閥等

   *MEMS壓力傳感器和測量CPU

   *電腦及應(yīng)用軟件

MEMS壓力傳感器板


 







 

設(shè)備特點

   ?通過使用硅橡膠,可以靈活適應(yīng)被檢產(chǎn)品的形狀。

    將難以檢驗的產(chǎn)品檢驗準(zhǔn)確率提高*。

   ?。ㄐ⌒蛯ο螽a(chǎn)品、化學(xué)容器、食品包裝等)

   ?適用于含有液體的檢查對象產(chǎn)品。您可以更改產(chǎn)品的方向。

   ?壓力傳感器非常小(2mmx2mm)。設(shè)備設(shè)計自由度高。

   ?分辨率:0.025Pa 絕對精度:±0.5hPa,相對精度±0.025hPa


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