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適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統介紹

發(fā)布時間:2022-04-08 點擊量:773

適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統介紹

它是一個使用白光干涉技術的系統,可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統產品更緊湊、更便宜。
多種測量模式,包括垂直掃描干涉法 (WLI),適合微米級臺階和形狀的高精度測量,相移干涉法 (PSI),適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備,包括用于放大物鏡、自動載物臺以及便于操作和分析和管理測量數據的軟件。

主要特點

  • 低價!
    在配備所有必要功能的同時實現低價

  • 納米量級
    的高分辨率 采用相移干涉法實現高分辨率

  • 全標準設備
    XY自動載物臺、手動左輪、自動光強調節(jié)、自動對焦功能

  • 緊湊型外殼
    主體占地面積為 30 x 30 厘米的緊湊型設計。

  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式
    一個裝置同時測量步距測量和粗糙度測量

  • 操作
    簡單 基本操作只需簡單的鼠標操作

  • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
    國際標準 ISO25178

  • 擴展
    性 多種物鏡選擇、數據拼接功能

主要用途

半導體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領域注射針、人工關節(jié)、支架等
安裝板銅線、凸塊、透鏡等



件。

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