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可用于晶圓厚度控制的非接觸式測量設(shè)備

發(fā)布時間:2021-06-30 點(diǎn)擊量:1118

可用于晶圓厚度控制的非接觸式測量設(shè)備

半導(dǎo)體晶圓晶非接觸式測厚儀OZUMA22 

<使用>

半導(dǎo)體用晶圓(各種材料) 硅Si.GaAs 砷化鎵等,玻璃、金屬、化合物等的高精度非接觸式測厚(非接觸式測厚)

<特點(diǎn)>

1. 1. 通過空氣背壓法可以進(jìn)行非接觸式測厚(非接觸式測厚),不會造成劃痕和污染等損壞
。不依賴于薄膜和顏色光澤等材料,可以輕松進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
在潮濕時可以進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。即使是鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
由于采用上下測量噴嘴進(jìn)行測量,因此
   可以準(zhǔn)確測量“厚度”,不受被測物體“滑行”引起的抬升的影響。
 ?。?ldquo;雪橇”測量也可以作為選項(* 1))
6. 由于操作簡單,因此可以非常輕松地進(jìn)行測量和校準(zhǔn)(* 2)。

<測量原理>

精確控制上、下測量噴嘴的背壓,噴嘴定位使噴嘴與被測物體之間的間隙恒定,并與預(yù)先用基準(zhǔn)規(guī)校準(zhǔn)的值進(jìn)行比較計算處理對被測物體進(jìn)行測量操作,可精確計算厚度。

<性能>

  分辨率 0.1 μm
  重復(fù)精度 10 次重復(fù) 連續(xù)測量時的標(biāo)準(zhǔn)偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
  測量范圍 max. 10mm (* 3)
  供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
            潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)

<基本配置>
標(biāo)準(zhǔn)的非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)是一組以下設(shè)備。
(1) 非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
②測量臺(安裝臺) ? ? ? ? 從附“表型”選擇 ?
? ? ? ? ? ? ?? 1 套③ 控制盒(分體型) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
④ 手動操作開關(guān)盒 ? ? ? ? ? ? ?· · · · · · 1套

⑤ 顯示器(7"彩色液晶觸摸屏)或用于測量控制的個人電腦??????????1套
⑥連接電纜?????????????????? ? ? ? 1 套
⑦ 校準(zhǔn)規(guī)(指ding厚度) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個
⑧ 測量控制的標(biāo)準(zhǔn)軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
除上述以外,還可以根據(jù)用途從“選項一覽”中選擇選項。 

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