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日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀介紹

發(fā)布時間:2021-01-19 點擊量:1568

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860介紹

氧氣表MS-500

  • 多可以同時測量8個點
  • 可以顯示從ppm級到100%的多種濃度。
  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
  • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

MS-500設(shè)備規(guī)格

測量原理氧化鋯輕型電池
形狀分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
測量范圍

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 

10 -20?10 -0大氣壓自動范圍

重復(fù)性

在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更大的范圍內(nèi)
±1%FS或以下或±0.1ppm大于0-1%的0-1%

小于0-1ppm,atm范圍超出了保證的濃度范圍

測量點數(shù)1-8
樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(壓力)
流量

0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態(tài)的

測量)

濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-100℃
其他

不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,

基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

比較氣大氣層
記錄儀輸出僅變速箱輸出
變速箱輸出RS-232C
報警輸出沒有
熱身時間6分鐘以內(nèi)
尺寸MS-500(控制器)92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
MS-510(轉(zhuǎn)換器)100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
傳感器單元SD16NW總長100 mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
SD25NW總長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
SD40NW總長100 mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
大眾MS-500(控制器)約0.6Kg
MS-510(轉(zhuǎn)換器)約0.5kg
傳感器單元SD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
使用電源24VDC±10%

氧氣計LC-450A,LC-450D

LC-450A,LC-450D


  • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100%。
  • 改進的傳感器耐用性
    氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理,以提高其耐用性。
  • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
    * LC-450D由24V DC驅(qū)動
  • 緊湊且易于安裝
    深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短,并且不會占用太多空間。
  • 符合RoHS的產(chǎn)品
  • CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
    EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

LC-450A設(shè)備規(guī)格

測量原理氧化鋯輕型電池
形狀桌面型/面板安裝型
顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍
重復(fù)性在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
流量1,000-2,000毫升/分鐘
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-50℃
其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀
輸出
氧氣濃度輸出在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更小
記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
變速箱輸出RS-232C
報警輸出失?。ㄔO(shè)備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
設(shè)備異常導(dǎo)致接點閉合(可以更改接點操作)
ALM(濃度警報)2點(H / L)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)
RDY(預(yù)熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
  • 無電壓觸點的小開關(guān)容量為12V或更高,并且無法承受微小的負(fù)載。
MRK(范圍標(biāo)記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
熱身時間5分鐘以內(nèi)
尺寸身體210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)
大眾約6kg
氣體
連接口
進口Rc1 / 4
旁路輸出Rc1 / 4
出口Rc1 / 4
使用電源100-240VAC,50VA(穩(wěn)定:35VA)50Hz / 60Hz

LC-450D設(shè)備規(guī)格

測量原理氧化鋯輕型電池
形狀桌面型/面板安裝型
顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍
重復(fù)性在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
流量?1,500L /分鐘
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-50℃
其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀
輸出
氧氣濃度輸出0-10VDC,絕緣,負(fù)載電阻600kΩ或更高
(選件:4-20mADC,絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更低)
記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
變速箱輸出RS-232C
報警輸出失?。ㄔO(shè)備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
設(shè)備異常導(dǎo)致接點閉合(可以更改接點操作)
ALM(濃度警報)2點(L / LL)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)
RDY(預(yù)熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或更小,0.5A或更小
在預(yù)熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
  • 非電壓觸點的小開關(guān)容量為12V或20mA或更高,并且無法承受微小的負(fù)載。
MRK(范圍標(biāo)記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
熱身時間5分鐘以內(nèi)
尺寸身體240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)
大眾約5kg
氣體
連接口
進口Rc1 / 8
旁路輸出Rc1 / 8
出口Rc1 / 8
使用電源24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài))

氧氣計LC-860

LC-860

  • 低濃度測量
    可以測量ppb到100%
  • 操作簡便
    按功能可輕松操作
  • 吹掃功能
    比較氣體更穩(wěn)定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
  • 高可靠性傳感器傳感器
    內(nèi)部還可以進行防劣化處理(可選)

LC-860設(shè)備規(guī)格

測量原理氧化鋯輕型電池
形狀桌面型/面板安裝型
顯示方式6位數(shù)字顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動/固定范圍
重復(fù)性
氧氣濃度在±1%FS之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
流量?1,500mL /分鐘
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-50℃
其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀
輸出
氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
:絕緣,負(fù)載電阻為600Ω或更低
0-10V:絕緣,負(fù)載電阻為500Ω或更高
記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動/固定范圍的任意4個范圍
變速箱輸出RS-232C
報警輸出失?。ㄔO(shè)備錯誤)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
由于設(shè)備異常,觸點閉合(可以更改觸點操作)
ALM(濃度警報)2分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改觸點操作)
RDY(預(yù)熱信號)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或以下,0.5A或以下
在預(yù)熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
  • 無電壓觸點的小開關(guān)容量為12V或更高,并且不能承受微小的負(fù)載。
MRK(范圍標(biāo)記)輸出3分非電壓接點,接點容量24VDC / AC以下,0.1A以下
熱身時間20分鐘以內(nèi)
尺寸身體288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
大眾約10kg
氣體
連接口
進口Rc1 / 8
旁路輸出Rc1 / 8
出口Rc1 / 4
使用電源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的

 

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